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型号:型号:1040
原产地:美国
•独有聚焦微束惰性气体离子束•极低修复电压:50 eV•聚焦束斑直径:1μm•定位精度高,去除非晶层且不产生再沉积现象•采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位•离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修复•配备液氮冷台,去除热损伤